Soluciones
Semiconductores
Pureza.
Desde la selección del material.
Compatibilidad.
Evaluada en condiciones de uso.
Precisión.
Reflejada en cada especificación.
Aplicaciones en la fabricación de semiconductores
Procesos de precisión.
Decisiones con fundamento.
Para la fabricación de obleas y componentes de equipos, evalúe la idoneidad de los fluoropolímeros según las sustancias en contacto, los objetivos de control de contaminación y las condiciones reales de operación.
01 ／ Procesos por vía húmeda
Cada química requiere
su propia evaluación.
Para componentes expuestos a productos químicos de proceso, como en el grabado húmedo (wet etching), evalúe los fluoropolímeros considerando el tipo y la concentración de las sustancias, la temperatura y el tiempo de contacto.
Aspectos por evaluar: compatibilidad química y condiciones de operación
02 ／ Transferencia de productos químicos
La pureza importa.
En todo el recorrido.
En sistemas que requieren controlar sustancias extraíbles, lixiviables y partículas, considere materiales de alta pureza para su evaluación. Verifique la idoneidad del grado seleccionado para las condiciones reales de los componentes en contacto con el fluido.
Aspectos por evaluar: materiales en contacto con el fluido y requisitos de pureza
03 ／ Manipulación de obleas
Cada contacto cuenta.
También al elegir.
En entornos sensibles a la contaminación, evalúe el uso de fluoropolímeros en dispositivos para la manipulación de obleas de silicio (wafers). Valide su idoneidad según el tipo de contacto, la geometría y los requisitos del componente.
Aspectos por evaluar: condiciones de contacto y validación de componentes
Material destacado ／ PFA de alta pureza
La pureza comienza
con una elección.
El PFA de alta pureza Everflon™ es una opción de material para evaluar en sistemas de transferencia de productos químicos destinados a la fabricación de semiconductores. Consulte primero la información del grado GC403 y compárela con las condiciones del proceso, los requisitos de los componentes en contacto con el fluido y los criterios de aceptación.
La idoneidad depende del grado seleccionado, del diseño de los componentes, de las condiciones de procesamiento y de las pruebas de aplicación. La denominación «alta pureza» no sustituye la calificación para el proceso específico.
De los requisitos del proceso a la evaluación del material
Defina las condiciones.
Oriente la selección.
Establezca requisitos compartidos entre los equipos de ingeniería de procesos, diseño y compras para dar una base concreta a la selección de materiales y al intercambio técnico.
01 ／ Definir las condiciones de uso
Partir del proceso real.
Indique los productos químicos, las concentraciones, la temperatura, la presión y el tiempo de contacto. Incluya también los ciclos de limpieza, las dimensiones de los componentes y el método de procesamiento previsto.
02 ／ Establecer criterios de aceptación
Precisar cada requisito.
Defina los requisitos de pureza, los límites de contaminación, los métodos de prueba y la documentación necesaria. Revise después los datos técnicos del grado y la información de procesamiento disponible.
03 ／ Validar los componentes terminados
Verificar en condiciones de uso.
Planifique pruebas representativas de las condiciones de operación. Evalúe los resultados en los componentes terminados antes de aprobar el material e incorporarlo a la producción conforme a sus procedimientos internos.
Preguntas frecuentes sobre selección de materiales
Lo que conviene saber.
¿Qué información se necesita para consultar sobre materiales para semiconductores?
Describa el proceso, la función del componente, las sustancias en contacto, la temperatura, la presión, el método de procesamiento y los criterios de aceptación. Los planos o las especificaciones de materiales utilizados actualmente ayudan a precisar la evaluación.
¿El PFA de alta pureza es adecuado para todos los procesos de fabricación de semiconductores?
La denominación «alta pureza» no basta para determinar su idoneidad. Compare los datos técnicos y las condiciones de prueba de cada grado con los requisitos del proceso. Luego, valide los componentes terminados en las condiciones de uso previstas.
¿Qué se debe revisar primero al seleccionar materiales para transferir productos químicos?
Identifique las sustancias, las concentraciones, la temperatura, la presión y el tiempo de contacto. Después, defina los requisitos relativos a extraíbles, lixiviables y partículas. Considere también el diseño y las condiciones de procesamiento de los componentes.
¿Dónde puedo consultar información sobre el PFA de alta pureza Everflon™?
Consulte la información del PFA GC403 Everflon™ y comparta las condiciones de su proceso y las especificaciones del material para conversar sobre los siguientes pasos de evaluación.
El siguiente paso comienza con su proceso
Hablemos de su proceso.
Comparta las condiciones de uso, los requisitos de los componentes y los criterios de calificación. Juntos, podemos definir los aspectos por evaluar en la selección de fluoropolímeros.
Ninguno
Comunicaciones